極細薄熱電対 の構造と特徴

FINE SHEET GAGE THERMOCOUPLE KFS series

極細薄熱電対

			7±2mm
	被覆 ・ガラス ・テフロン	元線素線 ・100μm径 ・200μm径 ・320μm径	中間部　　　先端部厚 ・25μm径……10μm ・50μm径……20μm

• シリコンウェーハー表面温度を測定するのに最適と思われます。
• 熱電対自体の熱容量が小さいので、より応答が速く、かつ高精度に測定できます。
• 細く、しなやかであることから、Ａｇペースト等で加熱固定時、熱電対先端が動きません。

2.極細薄熱電対　製品仕様

• K型（クロメル-アルメル）
• 元線：　　ガラス被覆 または テフロン被覆
  　 　　　　線径　　200μm または 100μm (320μm)
  　　 　　　長さ　　ご指定ください。
• 先端：　　
  

  中間部径	先端厚
  25μm	約10μm
  50μm	約20μm

  長さ指定のない場合　　中間部約3mm、先端部約7mmで製作しています　
  　　　（中間部+先端部は5mm〜23mmくらいまで可能です。）
  　　　（先端部は3mm〜10mmくらいまで可能です。）